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切记不可大意!安全使用原子沉积系统

发布时间:2021-06-24      点击次数:109
  原子沉积系统是一款紧凑型独立的PC计算机控制的ALD原子层沉积系统,带Labview软件,具备四级密码控制的用户授权保护功能。系统为全自动的安全互锁设计,并提供了强大的灵活性,
 
  原子沉积系统的操作步骤:
 
  1、开机:开普氮(压力0.4-0.6MPa)、高纯氮气瓶(压力小于0.1MPa);开总电源;开水冷机。
 
  2、放样品:点击“进气”,待压强升至1个大气压后,打开腔体,放入样品。点击“设置”,将流量重新设置为:20。
 
  3、开机械泵:先打开机械泵电源开关,然后点击“泵阀开”。4、设置温度参数:点击“设置”,开始设置温度参数,例如1:200度;2:230度;11(水):50度,或者11(臭氧):0度;10(Al源):0度。循环次数根据需要设置。流量:20。点击“确定”,开始加热,加热时间不少于45min。
 
  5、排水:加热45min后,若之前用过水,而本次实验用臭氧,则需排水。点击“模式1”,将前驱体4的脉冲时间设为:1000ms,清洗时间设为:5s,关闭小窗,点击“开始”,n个循环后,点击“结束”,排水完成。
 
  6、设置沉积模式参数:点击“模式1”或者“模式2”,设置前驱体和水(或者臭氧)的脉冲时间和清洗时间。以沉积氧化铝为例,前驱体3为铝源,前驱体4为水(或者臭氧),其他为空置,设置前驱体3的脉冲时间为:60ms,清洗时间设为:10s;设置前驱体4的脉冲时间为:50ms,清洗时间设为:30s。
 
  7、设置载气流量和循环次数:点击“设置”,流量设置为:20;循环次数根据所需样品厚度而定。
 
  8、开始实验:打开相应前驱体的手动阀,如果使用臭氧作为反应源,气压,开腔体,取出样品。
 
  10、抽真空:点击“泵阀开”,气压下降后,点击“进气”,关闭高纯氮的减压阀,流量下降至1位数时,点“设置”,将将流量重新设置为:0。
 
  (若下次实验换另外的源,则需排空,具体操作:点击“泵阀开”,气压下降后,点击“进气”,点击“模式1”,将前驱体3的脉冲时间设为:500ms,清洗时间设为:5s,将前驱体4的脉冲时间设为:1000ms,清洗时间设为:10s,关闭小窗,点击“开始”,100个循环后,点击“结束”,排空完成。)
 
  11、关仪器:点击“设置”,将1、2和11(水)的温度设为:0,将所用源的温度设为:0。点击“泵阀关”,关机械泵,关总电源,关普氮、关水冷。
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